IMP Graphite Parts

High-purity graphite parts are core consumables for ion implantation (IMP) equipment in semiconductor manufacturing. With excellent thermal stability, low sputtering yield and good electrical conductivity, they can withstand high-energy ion bombardment and rapid temperature fluctuations inside the vacuum chamber.

Typical products include graphite electrodes, collimators, Faraday cups and shielding plates. They shape ion beams, collect beam current and block stray ions to protect wafers. Strict material purity and precision machining are required to minimize particle contamination and metal impurity release, which directly affects wafer yield.

During operation, graphite suffers gradual erosion by ion collision and needs periodic replacement. Advanced surface coating treatments (such as SiC coating) can extend service life, reduce carbon particle generation and improve beam stability for advanced node processes.

Typical part number:

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